另外,在晶圆生产的过程中,这种通过静态设备,减少设备复杂程度的方法也行不通。因为,🈕♲🌕哪怕就是单台光刻机,在光刻过程中,镜头本身也是运动的。
一片晶圆上,会一次🙍🉈加工多个芯☐片。由于芯片精度比较高,所以晶圆光刻的时候,它🚝🔘是一个芯片,一个芯片光刻过去的。
诸如此类的事情很多。
c💾d可以采用中试😇线,难道晶圆也采用中试线
所以,🝄🈣启动一个晶圆项目需要的人力,物力,可🝃🈚⚡以想象。
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