&nbs🏣🛷p “老板，这种波形管道是输送氩气的管道，那种比较宽大的偏平状管道是空气通道，而那种比🅷较厚实的圆形钢管就是空调制冷管。
还有那种纵横交错的吊轨，就🌊♀🅕是将来输送半成品硅晶圆的自动输送装🁹置。
硅晶圆从开始清洗、烘干、涂胶、光刻，蚀🌤🁆刻，再到清洗、🖤🔧🃂烘干、掺杂，再到💈清洗、烘干等步骤，总共要重复三百多次。
  所以必须有一套高效的自🚙📳动输送系统，这种输送系统会因为厂房布🞀👂置，机械效率高低的关系而不同，所以我们必须自己量身定做一套这样的自动输送系统。
而且在整个输送过程，是由一个有黄色透明塑料外壳保护又充🌐满氩气的盒子输💈送。
而且各道工序，都是先抽成真空，再注入氩气保护，☤🁔硅晶圆才会从那个保护盒子内拿出来，进行各道工序的制备，整个过程非常严格，又极为复杂。
&nb🐹🄱sp 🄴这个自动输送系统的效率如何，直接决定了我们一年能产出多少片硅晶圆的产量。
&n⚨📸b🗄🙉🈡sp 华晶微电子原先规划是一年产1200万片，我🄓们希望能达到或超过这个目标。”
&nbs🈩🀻p 宋庆伟陪着王勇与他新上任的秘书马华腾俩人🗡🝆🈶在🄓芯片工厂内的施工现场察看工程进度。
&🕋🟍nbsp 他指着厂房屋顶上🞐📓🚞密密麻麻💆🏪布满的各种管道和吊轨给王勇俩人介绍。
为了抢时间，各种管道的铺设，是和厂房装修同步进行，偌大的厂房内，仅管有五千多平米🛐🛠🝯的巨大面积，但被各种装饰材料、管道线材占得满满当当。
&nb🜉⛸s🚎💐👀p地上有好多地方还挖了个大坑，被粗粗的钢筋笼子和混泥土浇注成了一座🁯座台基。
王勇指着那些水泥台基问他：“宋总，这些就是减震台🁪🈦🀤吗？你们怎么能确定它就该在这里呢？”
“是的”宋庆伟先是肯定的答复，接着又给他解惑：“老板，我们这种厂房与华晶微电子的厂房，同🙲🎑样是五千平米，一样的构造，所以我们实际上是将华晶微电子的布置，原封不动的照搬过🅃来。”
说到这里，宋庆😼📅伟一脸为难之色，他叹🁗🅻了一口气道：“老板，说🏖🚈到防震台，我就不得不告诉你，整个芯片制造车间的安装调试，最难的就是自动输送系统和这些防震台。
其中这个防震基座的调试最难，它的要求太🌤🁆苛刻了，而且没有极限，它不仅要化解机器设备本身的振动，还要化解地壳♧产生的自然振动。