第二十七章 收站偶遇(4/4)

    “我们刚刚测试过，工作平台的定位精度是十纳米，运动精度达🀜♎🇒到了五纳米。”何玉光高兴地说道。

    “这个精度暂时只能满足一百纳🈿🄅🞛米分辨率、套刻精度三🄭十三纳米、线宽十纳米的光刻机，如果氟化氪准分子激光光源出来后，我们公司生产的光刻机暂时只能做到一百纳米的制程工艺……”杨杰沉吟道。

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