&🖚nbsp “老板，这种波形管道是输送氩气的管道，那种比较宽大的偏🅉🄫平状管道是空气通道，而那种比较厚实的圆形🚦🕦钢管就是空调制冷管。
还有那种纵横交错的♎😎吊🁺轨，就是将来输送半成品硅晶圆的自动输送装置。
🇽🝿🐽 硅🃟🙃🇪晶圆从开始清洗、♎😎烘干、涂胶、光刻，蚀刻，再到清洗、烘干、掺杂，再到清洗、烘干等步骤，总共要重复三百多次。
所以必须有一套高效的自动输送系统，这种输👧送系统会因为厂房布置，机械效率高低的关系而不同，所以我们必须自己量身定做一套这样的自动输送系统。
&🀜♎nbsp 而且在整个输送过程，是由一个有黄色透明塑料外壳保护又充满氩气的盒子输送。
而且各道工序😹，都是先抽成真空，再🍢注入氩气保护，硅晶圆才会从那个保护盒子内拿出来，进行各道工序的制备，整个过程非常严格，又极为复杂。
&nbs🂥p 这个自动输送系统的效率如何，直接决定了我们一年能产出多少片硅晶圆的🟔🜹产量。
&n🎸bsp 华晶微电子原先规划是一年⛍🙄产1200万片，我们希望能达到或超过这个目标。”
&nbs🂥p 宋庆伟陪着王勇与他新上任的秘书马华腾俩人在芯片工厂内的施工现场察看工程进度。
他指着厂房屋顶上密密麻🎦麻布满的各种管道和吊轨给王勇俩🞝🕋🈂人介绍。
为了抢时间，各种管道的铺设，是和厂房装修同步进行，偌大的厂房内，仅管有五千🜅多平米的巨🍤大面积，但被各种装饰材料、管道线材占得满满当当🐞。
&nbs🐭p 地上有好多地方还挖了个大⛍🙄坑，被粗粗的钢筋笼子和混泥土浇注成了一座座台基。
&🏅🗮n🌮bsp 王勇指着那些水泥台基问他：“宋总，这些就是减震台吗🜦🄕？你们怎么能确定它就该在这里呢？”
“是的”宋庆伟先是肯🁺定的答复，🔽接着又给他解惑：“老板，我们这种厂房与华晶微电子的厂房，同样是五千平米，一样的构造，所以我们实际上是将华晶微电子的布置，原封不动的照搬过来。”
说到这里，宋庆伟一脸为难之色，他叹了一口气道：“老板，说🏤🜀⚪到防震台，我就🗐🚵🗭不得不告😟诉你，整个芯片制造车间的安装调试，最难的就是自动输送系统和这些防震台。
其中这个防震基座的调试最难，它的要求太苛刻🎖了🍥，而且没有极限，它🔭不仅要化解机器设备本身的振动，还要化解地壳产生的自然振动。