&n🁦🇾🞍bsp “老板，这种波形管道是输送氩气的管道，那种比较宽大的偏平状管道是空气通道，而那种比较厚实的圆形钢管就是空调制冷管。
&n🝏bsp 还有那种纵横交错的吊轨，就是将来输送半成品硅晶圆的自动输送装置。
硅晶圆从开始清洗、烘干、涂胶、光刻，蚀刻，再到清洗、烘干、🅊🄴掺杂，再到🝊清洗、烘干等步骤，总共要重复三百多🐀次。
所以必须有一套高效的自动输送系🁖🅳统，这种输送系统会因⚲🕗为厂房布置，机械效率高低的关系而不同，所以我们🁌🄛♵必须自己量身定做一套这样的自动输送系统。
而且在整个输送过程，是由一个有黄色透明塑🎕料外🗋壳保护又充满氩🅊🄴气的盒子输送。
&nbs🅫p 而且各道工序，都是先抽成真空，再注入氩气保护，硅晶圆才会从那个保护盒子内拿出来，进🟂🚕📎行各道工序的制备，整个过程非常严格，又极为复杂。
&nb☉♍sp 这个🂃🌈☫自动输送系统的效率如何，直接决定了🖉🐮我们一年能产出多少片硅晶圆的产量。
华晶微电子原先🉈🅖🆤规划是一年产1200万片，我们希望能达到或超过🍇🅻这个目标。”
宋庆伟陪着王勇与他新上任的秘🟇书马华腾俩🖉🐮人在芯片工厂内的施工现场察看工程进度。
&n♪😚bsp 他指着厂房屋顶上密密麻麻布满的各种管道和吊轨给王勇俩人介绍。
&n🁦🇾🞍bsp 为了抢时间，各种管道的铺设，是和厂房装修同步🗋进行，偌大的厂房内，仅管有五千多平米的巨大面积，但被各种装饰材料、管道线材占得满满当当。
&n♪😚bsp &nbs🀞♣p地上有好多地方还挖了个大坑，被粗粗的钢筋笼子和混泥土浇注成了一座座台基。
&🛨🞾nbsp 王勇指着那些水泥台基问他：“宋总，这些🖉🐮就是减震台吗？你们怎么能确定它就该在这里呢？”
“是的”宋庆伟先是肯定的答复，接着又给他解惑：“老板，我们这种厂房与华晶微电子的厂房，同样是五千平米，一样🅸的构造，所以我们实际上是将华晶微电子的布置，原封不动的照搬过来。”
说到这里，宋庆伟一脸为难之色，他叹了👌一口气道：“老板，说到防震台，我就不得不告诉你，整个芯片制造车间的安装调试，最难的就是自动输送系统和这些防震台。
其中这个防震基座的调试最难，它的要求太苛刻了，而且没有🆁🌥🁊极限，它不仅要化解机器设备本身的振动，还要化⛞🛤🞖解🙆☠地壳产生的自然振动。